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ST2258A多功能數(shù)字式四探針測試儀適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠
更新時(shí)間:2021-09-10   點(diǎn)擊次數(shù):1368次

ST2258A多功能數(shù)字式四探針測試儀

ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

      儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。
      主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;電壓電流全自動轉(zhuǎn)換量程;測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果分類功能,最大分類10類。
      探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配專用探頭,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
      測試臺選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺,也可選配SZT-D型測試臺以測試半導(dǎo)體粉末電阻率,選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。

       

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       儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡便等特點(diǎn)。
       儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。
三、基本技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率(可向下拓展1~3個數(shù)量級,括號內(nèi)為向下拓展3個數(shù)量級)
     電    阻:1.0×10-3 ~ 200.0×105  Ω,    分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×104  Ω
                (1.0×10-6 ~ 200.0×102  Ω,    分辨率0.1×10-6 ~ 0.1×102 Ω)
     電 阻 率:1.0×10-3 ~ 200.0×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103  Ω-cm
                (1.0×10-6 ~ 200.0×101 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ~ 0.1×101  Ω-cm)
     方塊電阻:5.0×10-3 ~ 100.0×104 Ω/□  分辨率0.5×10-3 ~ 0.1×103  Ω/□
                (5.0×10-6 ~ 100.0×101 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×101  Ω/□)
2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)
   直    徑: SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
   SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
   長(高)度:  測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.
   測量方位:  軸向、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級
滿度顯示
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
200.0
常規(guī)量程
kΩ-cm/□
Ω-cm/□
mΩ-cm/□
最大拓展量程
Ω-cm/□
mΩ-cm/□
μΩ-cm/□
基本誤差
±2%FSB
±4LSB
±1.5%FSB
±4LSB
±0.5%FSB±2LSB
±0.5%FSB
±4LSB







4) 工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W

5) 外形尺寸:W×H×L=215mm×85mm×190mm
      凈   重:≤1.5~2.0kg


深圳市偉峰儀器儀表有限公司

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