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超小型粒子計數(shù)器

更新時間:2024-06-19

儀器型號:加野Kanomax 3950

簡要描述:

加野Kanomax 3950 超小型粒子計數(shù)器

重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)
雙通道: 0.1um0.3um
額定流量:2.83min
通過實現(xiàn)超小型化設計,使粒子計數(shù)器嵌入裝置設備成為可
0.1 um測量
4.3英寸彩色液晶
標配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度輕量化
以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中,
本產(chǎn)品通過壓倒性的小型

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加野Kanomax 3950 超小型粒子計數(shù)器

重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)

雙通道: 0.1um0.3um

額定流量:2.83min

通過實現(xiàn)超小型化設計,使粒子計數(shù)器嵌入裝置設備成為可

0.1 um測量

4.3英寸彩色液晶

標配RS-485,Ethernet,USB

小型化!重量大幅度輕量化

以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中,

本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>



應用范圍

作為傳感器嵌入到設備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區(qū)域的管理


加野Kanomax 3950 超小型粒子計數(shù)器


測試方法光散亂

粒徑區(qū)分2粒徑(0.1,0.3um)

額定流量0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4)

測量時間6秒~99分59秒(1次測量時間)

間隔時間6秒~99分59秒(測量周期)

采樣次數(shù)1~999回或 連續(xù)測試

地點區(qū)分99個地點

測量格式重復,單次,連續(xù),計算,1S0,GB*(共6種模式)

測量數(shù)據(jù)顯示時間1~10秒

測量數(shù)據(jù)顯示計數(shù)累計值三,超過設定設定值時蜂鳥器報警

zui大可測濃度10,000,000個m

計數(shù)效率50土20%(相對于zui小可測粒徑附近的標準粒子)

100士108(相對于zui小可測粒徑的1.5倍-2倍的PSL粒子)

(符合JIS B9921和1S021501-4)

偽計數(shù)1/35min 以下

粒徑分解能15%以下(相對0.3um的PSL粒子)

(符合JIS B9921和 IS021501-4)

采樣源自帶泵

顯示器4.3英寸彩色液品,觸摸屏顯示器

記錄媒體本體:USB(Host可對于打印機,USB內(nèi)存使用,、Device可對于鏈接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud)

媒體:內(nèi)存

記錄數(shù)、格式:zui大10,000個,CSV格式

顯示語言英語,日語

電源AC 100~240 V

使用環(huán)境15~35'C,0~85%RH(無冷凝)

外形尺寸W150 X H163 X D228 mm

重量3.4kg


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深圳市偉峰儀器儀表有限公司

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